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新时达:目前公司半导体机器人应用能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程

  

新时达:目前公司半导体机器人应用能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程(图1)

  同花顺300033)金融研究中心10月14日讯,有投资者向新时达002527)提问, 董秘您好,公司的半导体机器人进展如何,是否有跟大厂商一起合作研发?

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  公司回答表示,您好,目前公司半导体机器人已批量应用于国内多个晶圆厂产线,公司与国内半导体设备公司就机器人研发达成了相关合作,目前公司半导体机器人应用能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程。谢谢您!

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